سیستم لایه‌نشانی تبخیر در خلاء بومی‌سازی شد

به گزارش خبرنگار گروه علم و فناوری خبرگزاری آنا، یکی از روش‌های پرکاربرد و محبوب در روش‌های لایه‌نشانی تبخیر حرارتی است که نقاط قوت آن سادگی و سرعت بالای آن است. لایه‌نشانی به روش تبخیر حرارتی از جمله روش‌های فیزیکی لایه‌نشانی تحت خلاء به شمار می‌رود که طی فرایند فیزیکی لایه نازکی روی بستر مورد نظر نشانده می‌شود. حال گروهی از پژوهشگران جهاد دانشگاهی صنعتی شریف سیستم لایه‌نشانی تبخیر در خلاء بالا را در دو مدل «ETS» و «EDS» طراحی و تولید کرده‌اند. حجم محفظه فرایند این دو مدل به طور تقریبی ۱۱۰ لیتر و از جنس استیل ضدزنگ است.

این دستگاه‌ها در ساخت لایه‌های نازک رسانای الکتریسیته، لایه‌های نازک عایق الکتریکی، لایه‌های نازک کنترل‌کننده حرارت، رساناهای شفاف و لایه‌های نوری کاربرد دارد. همچنین در صنعت بسته‌بندی، پوشش تزئینی، دکوراسیون، پوشش ضدخوردگی و ادوات ضبط مغناطیسی استفاده می‌شود. سیستم لایه‌نشانی تبخیر در خلاء بالا مجهز به منبع تبخیر پرتوی الکترونی با توان سه کیلو وات، کاتد مگنترون اسپاترینگ با جریان مستقیم، ضخامت‌سنج کریستالی کامپیوتری، گرم‌کن نمونه تابشی با کنترلر دما و منبع تبخیر مقاومتی با حداکثر جریان ۲۵۰ آمپر است.

انتهای پیام/۴۰۲۱