سیستم لایه‌نشانی در خلاء ایران‌ساخت شد

به گزارش خبرنگار گروه علم و فناوری خبرگزاری آنا، دانشمندان سازمان جهاد دانشگاهی صنعتی شریف سیستم لایه‌نشانی مگنترون اسپاترینگ در خلاء بالا را طراحی و تولید کرده‌اند که کاربردهای صنعتی و آزمایشگاهی دارد. این دستگاه در حوزه‌های نانو، اپتیک، الکترونیک، ابررساناها، فیلترهای اپتیکی، میکروالکترونیک، تجهیزات اپتیکی، آینه‌های لیزری، لایه‌های دی‌الکتریک، پوشش‌های سخت و پوشش‌های تزئینی کاربرد دارد. این دستگاه ایران‌ساخت قادر به تحمل فشار تا ۱۰ به توان منفی ۶ میلی‌بار است و به صورت نیمه اتومانیک با انواع حفاظت‌ها عمل می‌کند.

جهاد دانشگاهی صنعتی شریف دستگاه لایه‌نشانی مگنترون را در دو مدل «MSS-۱۶۰» و «MSS-۱۰۰» ساخته که تفاوت مدل اول با دوم در ظرفیت سیستم تخلیه و نحوه جابه‌جایی در محفظه است. هر دو دستگاه مجهز به پمپ مکانیکی و توربومولکولار هستند و جنس محفظه فرایند آن از استیل ضدزنگ است. سیستم تخلیه مدل MSS-۱۶۰ حدود ۱۱۰ لیتر و مدل MSS-۱۰۰ حدود ۳۰ لیتر است. در محفظه مدل اول از طریق بالابر الکتروپنومانیک جابه‌جا می‌شود، در محفظه مدل دوم علاوه‌بر بالابر به صورت دستی نیز قابل جابه‌جا کردن است. این دستگاه مجهز به گرم‌کن نمونه تابشی با کنترلر دما تا ۷۰۰ درجه سانتی‌گراد و ضخامت‌سنج کریستالی کامپیوتری است.

انتهای پیام/۴۰۲۱