تولید سامانه‌ها و تجهیزات آزمایشگاه‌های میکروالکترونیک توسط محققان کشور

به گزارش خبرگزاری علم و فناوری آنا، علی اخوان فراهانی، مدیرعامل یک شرکت دانش‌‌بنیان گفت: پژوهشگران این مجموعه روی سامانه‌هایی کار می‌کنند که بیشتر برای آزمایشگاه‌های میکروالکترونیکی کاربرد دارد. یکی از این محصولات سامانه رشد نانولوله‌های کربنی با استفاده از پلاسمای جریان مستقیم در فشار پایین (DC-PECVD) است. این سیستم که دارای منبع تغذیه ولتاژ بالا (برای تولید پلاسما)، پمپ‌های خلا مکانیکی (برای ایجاد فشار پایین)، کوره‌های کوارتز (برای دمای بالا و کنترل کاملا خودکار) است، در بسیاری از آزمایشگاه‌ها و پژوهشگاه‌های تحقیقاتی مرتبط با نانو الکترونیک و افزاره‌های نیمه هادی کاربرد دارد.

وی گفت: نانولوله‌های کربنی به خواص ویژه خود، کاربرد‌های بسیار زیادی در ساخت حسگر‌ها و قطعات الکترونیک داشته و در قطعات انرژی و بیوالکترونیک نیز مورد توجه روز افزون هستند. هم اکنون امکان رشد گرافن و زدایش اکسید نیز به این سامانه افزوده شده است؛ گرافن از شاخص‌ترین مواد دو بعدی است که می‌تواند در ساخت قطعات الکترونیکی در آینده بسیار نقش آفرین باشد.

این پژوهشگر بیان کرد: یکی دیگر از محصولات ما تولید سامانه زدایش عمیق سیلیکون با استفاده از یون‌های واکنشگر (DRIE) است. این سیستم شامل محفظه خلا، پمپ‌های مکانیکی و روتز، منبع توان فرکانس رادیویی (برای ایجاد پلاسما)، شبکه تطبیق امپدانس (برای انواع مختلف گاز‌ها و مقادیر گوناگون)، کنترل کننده گاز ورودی (MFC) و برنامه دیجیتال و کنترل کاملا خودکار (برای کاربر) است. این سامانه دارای یک فرآینده جدید و بهبود یافته نسبت به نمونه‌های خارجی است که در بسیاری از آزمایشگاه‌ها و پژوهشگاه‌های تحقیقاتی مرتبط با نانوالکترونیک و افزاره‌های نیمه هادی کاربرد دارد.

اخوان فراهانی ادامه داد: سامانه تمیز کننده پلاسمایی (Asher) برای سوزاندن کثیفی‌های روی سطح نمونه‌های میکروالکترونیک در بخش لیتوگرافی از دیگر محصولات این مجموعه است. این سامانه با کمک پلاسمای فرکانس رادیویی تولید شده توسط منبع RF و استفاده از مدارات تطبیق، گاز اکسیژن موجود در محفظه را به پلاسمای اکسیژن تبدیل می‌کند.

وی بیان کرد: یون‌های اکسیژن با فوتورزیست موجود به روی سطح نمونه ترکیب و به خاکستر تبدیل شده و آن را از روی سطح برمی دارد. علاوه بر گاز اکسیژن با کمک فلورین هم می‌توان فرآیند تمیز سازی را انجام داد. این سامانه برای خروج خاکستر‌های فوتورزیست و همچنین ایجاد پلاسما نیازمند پمپ خلا و فشاری در حدود میلی تور است. وجود این دستگاه در آزمایشگاه‌هایی که از فوتوزیست استفاده می‌کنند، ضروری است.

اخوان فراهانی تاکید کرد: فرایند ساخت این سامانه‌ها نسبت به نمونه‌های مشابه خارجی تفاوت دارد. از نظر قیمتی نیز بسیار مقرون به صرفه‌تر هستند. اکنون بحث تحقیق و توسعه این سامانه‌ها انجام شده است، اما در بخش گمرک با پاره‌ای از مشکلات مواجه هستیم که امیدواریم با عنایت مسئولان این مشکلات نیز برطرف شود و گامی در صادرات این محصول برداریم.