دستگاه لایه‌نشانی در خلاء با دقت نانویی
گروه علم و فناوری آنا- هانا حیدری؛ شرکت «پوشش‌های نانو ساختار» طراح دستگاه اسپاترینگ سه کاتده و تجهیزات لایه‌نشانی در خلاء است. در روش فیزیکی لایه‌نشانی، پوشش PVD بسته به نیاز کاربر به سه صورت انجام می‌گیرد: تبخیر حرارتی، اسپاترینگ یا کندوکاش و پالس لیزری.
شرکت پوشش‌های نانو ساختار در نهمین جشنواره برترین‌های نمایشگاه فناوری نانو به عنوان بهترین صادرکننده انتخاب شد. پس از همکاری با شرکت میکروسکوپ‌سازی هلندی، «فنوم»، بازار فروش خارجی این شرکت رشد صعودی داشت و حالا محصولات با کیفیت آن در بازارهای استرالیا، هند، اتریش، پرتغال و روسیه عرضه می‌شود.
دستگاه اسپاترینگ سه کاتده مدل DST3 یک سیستم لایه‌نشانی رومیزی مجهز به پمپ توربو مولکولار و پمپ پشتیبان دیافراگمی است و می‌تواند تارگت‌های فلزی، نیمه‌رسانا و دی‌الکتریک را با دقت نانویی لایه‌نشانی کند. در این مدل با به کارگیری سه کاتد با نقطه کانونی مشترک، می‌توان لایه‌نشانی متمرکز و همزمان دو یا سه کاتد را انجام داد.
همچنین این دستگاه علاوه بر ساخت چند لایه‌ای‌ها می‌تواند آلیاژسازی نیز انجام دهد. این سیستم با قابلیت چرخش زیرلایه، باعث یکنواختی بسیار خوب لایه رشد داده شده، می‌شود. همچنین با زاویه دادن به زیرلایه، می‌توان لایه‌ها مختلفی را به روش رشد ستونی یا گلد اسپاترینگ پرورش داد.
در این مدل کاتدها زاویه ندارند بنابراین می‌توان زیرلایه‌هایی تا قطر 20 سانتی‌متر را لایه‌نشانی کرد. این دستگاه قادر به انجام لایه‌نشانی به صورت پیوسته و بدون محدودیت زمانی است. کاربر می‌تواند روند لایه‌نشانی را براساس زمان یا ضخامت کنترل کند.
دستگاه اسپاترینگ سه کاتده مجهز به صفحه رنگی است و قادر به استخراج اطلاعات و نمودارهای فرآیند لایه‌نشانی از طریق پورت USB است.
انتهای پیام/